一种电子束区域熔炼多晶硅设备及排除杂质的方法

摘要

本发明公开了一种电子束区域熔炼多晶硅设备，包括熔炼炉和设置在所述熔炼炉内的区域熔炼坩埚，所述熔炼炉的侧壁上部设有观察窗，所述熔炼炉的底端设有冷却水进水口和冷却水出水口，其特征在于：在所述区域熔炼坩埚的右侧上方设有电子枪，所述电子枪的电子束从所述区域熔炼坩埚的左侧向右侧区域移动，且对铺设在所述区域熔炼坩埚上的硅块加热。本发明还公开了应用该设备排除杂质的方法。本发明实现了硅块的连续化熔炼和凝固，通过控制电子束的移动速度，使电子束照射区域熔炼蒸发出蒸汽压大的元素，同时在照射区的左侧由于电子束的移动形成温度逐步变化，使左侧的硅液实现定向凝固，缩短了单炉生产时间，设备简单方法易行，节省了能耗。

主权项

一种电子束区域熔炼多晶硅设备，包括熔炼炉和设置在所述熔炼炉内的区域熔炼坩埚，所述熔炼炉的侧壁上部设有观察窗，所述熔炼炉的底端设有冷却水进水口和冷却水出水口，其特征在于：在所述区域熔炼坩埚的右侧上方设有电子枪，所述电子枪的电子束从所述区域熔炼坩埚的左侧向右侧区域移动，且对铺设在所述区域熔炼坩埚上的硅块加热。