一种谐振腔内石英音叉气体检测装置

摘要

一种谐振腔内石英音叉气体检测装置，包括谐振腔、吸收腔、石英音叉探测器、调制器、放大器单元和主机，谐振腔与吸收腔可一体或分体设置；石英音叉探测器包括共振管和石英音叉，置于吸收腔内，吸收腔上设有气口，用于吸收腔的抽真空以及待测气体的充入；检测光经过调制器后由入射窗口入射到吸收腔中，在谐振腔内发生共振，吸收腔中的气体分子吸收检测光并激发声波从而引起石英音叉的振动，石英音叉的信号放大后输入主机中进行数据采集，获得吸收腔内待测气体物质浓度数据。本发明装置谐振腔内部的光强远大于腔外的光强，而石英音叉的探测灵敏度又与光强成正比，因此本发明气体检测装置具有更高的灵敏度。

主权项

一种谐振腔内石英音叉气体检测装置，其特征在于：包括谐振腔(1)、吸收腔(2)、石英音叉探测器(3)、调制器(4)、信号放大单元(5)和主机(6)，其中：外部入射或内部泵浦激发的激光在所述谐振腔(1)内振荡，以该激光作为检测光(A)；所述吸收腔(2)与谐振腔(1)一体或分立设置，吸收腔(2)为留有气口(2‑1)的密封腔体，位于检测光(A)光路中，所述调制器(4)在检测光(A)光路中置于吸收腔(2)前端；所述石英音叉探测器(3)位于吸收腔(2)内，包括共振管(3‑1)和石英音叉(3‑2)；共振管(3‑1)轴线与所述检测光(A)光路同轴，共振管(3‑1)下部有一个开口槽(311)；石英音叉(3‑2)位于所述开口槽(311)处，其两个振臂(321)分置于共振管(3‑1)轴线两侧，振臂(321)平面与共振管(3‑1)轴线平行；所述石英音叉(3‑2)信号输出端连接信号放大单元(5)，信号放大单元(5)连接主机(6)进行数据采集处理。