融合切变压电致动器复合驱动模式的压电直线马达

摘要

本发明公布了一种融合切变压电致动器复合驱动模式的压电直线马达及其制备方法，压电直线马达包括压电谐振动压电换能器、切变压电致动器、驱动电路、滑块、固定在切变压电致动器上的摩擦头和外围部件；谐振压电换能器和切变压电致动器紧密粘接在一起，形成复合压电驱动定子；再通过摩擦头与滑动组件中的滑块紧密接触；谐振压电换能器和切变压电致动器均有上表面电极和下表面电极；压电马达可谐振驱动、直流驱动或复合驱动模式，不仅可以产生宏观的连续直线运动，还可以产生亚微米和纳米运动以及产生大的驱动力。本发明结构简单、制作方便，有利于在精密驱动领域推广应用。

主权项

一种融合切变压电致动器复合驱动模式的压电直线马达，包括谐振压电换能器、切变压电致动器、驱动电路、滑块、固定在切变压电致动器上的摩擦头和外围部件；所述外围部件包括弹性固支、弹性压紧部件、夹具和滑动组件；所述谐振压电换能器和切变压电致动器紧密粘接在一起，形成所述压电直线马达的复合压电驱动定子；复合压电驱动定子被弹性固支固定在夹具中，在弹性压紧部件的作用下，使得复合压电驱动定子通过固定在切变压电致动器上的摩擦头与滑动组件中的滑块紧密接触；所述谐振压电换能器和切变压电致动器均有上表面电极和下表面电极。