发明名称 晶体硅太阳能电池纳米透明埋栅电极的制备方法
摘要 本发明涉及晶体硅太阳能电池纳米透明埋栅电极的制备方法。制作电极样品:用银墨溶液滴加到具有金字塔绒面结构的硅片表面,并对硅片施加水平方向的振动,使整个硅片的表面形成均匀分布纳米银颗粒团聚体结构;烧结电极样品:用微波辐射加热电极样品使纳米银颗粒相互熔合形成相互连接的金属纳米线/棒网络结构;金属辅助化学刻蚀电极样品:在氢氟酸,双氧水和乙醇的混合溶液中对烧结后的样品做金属辅助刻蚀处理,使金属纳米线/棒网络电极嵌入硅片形成纳米透明埋栅电极。经过金属辅助化学刻蚀后,金属纳米线/棒网络嵌入硅片减反效果明显优化,金属纳米线/棒网络电极与硅片接触电阻明显变小,该电极具有减反层的作用和潜在的优异的载流子收集效率。
申请公布号 CN102983212B 申请公布日期 2015.09.02
申请号 CN201210439754.8 申请日期 2012.11.06
申请人 华南师范大学 发明人 高进伟;裴颗;韩兵;王洋
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人 禹小明
主权项 一种晶体硅太阳能电池纳米透明埋栅电极的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:步骤A,制作电极样品:即用银墨溶液滴加到具有金字塔绒面结构的硅片表面,通过滴涂和振动方法使整个硅片的表面形成均匀分布的纳米银颗粒团聚体结构;步骤B,烧结电极样品:即用微波辐射加热电极样品使纳米银颗粒熔合而形成相互连接的金属纳米线/棒网络结构;步骤C,金属辅助化学刻蚀电极样品:即在40 wt%氢氟酸,35 wt%双氧水和乙醇的混合溶液中对烧结后的样品做金属辅助刻蚀处理,使金属纳米线/棒网络嵌入硅片;步骤C中所述金属辅助化学刻蚀过程为:C1:在乙醇溶剂中,配制40 wt%氢氟酸溶液,35 wt%双氧水溶液的混合液,三种成分:氢氟酸溶液,双氧水溶液以及乙醇的体积比为4: 1: 95;C2:将上述溶液在遮光下加热至10~50℃,缓慢搅拌,使溶液均匀;C3:将步骤B烧结后的电极样品平放入C2步骤得到的溶液中,保证具有金属纳米线/棒网络结构的一面朝上,浸泡1~100秒,并缓慢搅拌溶液;C4:反应完毕后,迅速将样品取出来,用去离子水反复清洗,再用5%氢氟酸清洗去除氧化层,接着再用去离子水反复清洗,最后用高纯氮气将样品表面吹干。
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