发明名称 |
用于硅晶片的局部掺杂的掺杂介质 |
摘要 |
本发明涉及制备可印刷、高粘度氧化物介质的新方法,并涉及其在制造太阳能电池中的用途。 |
申请公布号 |
CN104884685A |
申请公布日期 |
2015.09.02 |
申请号 |
CN201380067938.9 |
申请日期 |
2013.12.18 |
申请人 |
默克专利股份有限公司 |
发明人 |
I·克勒;O·多尔;S·巴尔特 |
分类号 |
C30B31/04(2006.01)I;C23C18/12(2006.01)I;C23C18/32(2006.01)I;H01L21/22(2006.01)I;H01L21/225(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/028(2006.01)I;C09D183/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B31/04(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
陈晰 |
主权项 |
制备以掺杂介质形式的可印刷、高粘度(粘度>500mPas)氧化物介质的方法,其特征在于,使烷氧基硅烷和/或烷氧基烷基硅烷与a)对称和不对称的羧酸酐i.在含硼化合物的存在下和/或ii.在含磷化合物的存在下或b)与强羧酸i.在含硼化合物的存在下和/或ii.在含磷化合物的存在下或c)与变量a)和b)的组合i.在含硼化合物的存在下和/或ii.在含磷化合物的存在下缩合进行基于无水溶胶‑凝胶的合成,并通过受控凝胶化来制备糊状的高粘度掺杂介质(掺杂糊剂)。 |
地址 |
德国达姆施塔特 |