| 发明名称 | 一种有效去除光阻的方法 | ||
| 摘要 | 本发明克服了现有技术存在的不足，提供了一种能提高产品的良率、有效去除光阻的方法；为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种有效去除光阻的方法，按以下步骤实施：第一步：将需去除光阻的晶片置于去光阻液中浸泡30min～60min；第二步：从去光阻液中取出水洗吹干；第三步：将吹干的晶片置于等离子装置中采用干式方法去除残余光阻；本发明可广泛应用于LED芯片领域。 | ||
| 申请公布号 | CN104882364A | 申请公布日期 | 2015.09.02 |
| 申请号 | CN201510147639.7 | 申请日期 | 2015.03.31 |
| 申请人 | 山西南烨立碁光电有限公司 | 发明人 | 孟玲娟 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人 | 胡新瑞 |
| 主权项 | 一种有效去除光阻的方法，其特征在于，按以下步骤实施：第一步：将需去除光阻的晶片置于去光阻液中浸泡30min～60min；第二步：从去光阻液中取出水洗吹干；第三步：将吹干的晶片置于等离子装置中采用干式方法去除残余光阻。 | ||
| 地址 | 046000 山西省长治市城区北董新街65号 | ||