纯水的制造方法及装置

摘要

一种使来自紫外线氧化装置的紫外线氧化处理水与铂金属金属载持触媒树脂接触以制造纯水的方法及装置，能防止触媒树脂的劣化，且经过长时间也能稳定并分解处理过氧化氢。将被处理水以紫外线氧化装置(2)作紫外线氧化处理后，再藉由使用铂系触媒之过氧化氢去除装置(4)作过氧化氢去除处理的纯水制造方法及装置中，将朝该紫外线氧化装置(2)之给水的TOC处理到5ppb以下，且在紫外线氧化装置(2)的后段上设置阴离子交换树脂塔(3)。