末端执行器及基板搬送机器人

摘要

本发明之末端执行器(2)包括：复数个托板本体(5)；及基板保持机构(6)，其设置于复数个托板本体(5)各自之托板基端侧。基板保持机构(6)包含：基板载置部，其载置基板之背面缘部；及基板抵接部，其自基板载置部之托板基端侧朝上方延伸，并供上述基板之侧端部抵接。以不使基板进入至下侧之托板本体(5)之基板抵接部之上端与上侧之托板本体5之背面之间的方式设定基板抵接部之高度。于具备可变更上下方向间距之复数个托板之末端执行器中，可顺畅地保持高密度搭载之基板。