聚烷氧基矽氮烷及其制造方法，及，涂布组成物及由其所得之矽系陶瓷被膜

摘要

本发明之聚烷氧基矽氮烷，具有：以下述一般式(i)所示之构成单位、以及以下述一般式(ii)所示之构成单位中的至少一方。;[R 1 O-Si-(NH)3/2] (i);(式中，R 1 表示烷基);[(R 2 O)2-Si-(NH)2/2] (ii);(式中，R 2 表示烷基；2个R 2 可互为相同或相异)