| 主权项 |
一种连续式合成碳薄膜或无机材料薄膜之设备，包括：一外腔体，包括一进气闸门、一出气闸门；一基材传送装置，置于该外腔体内，其中该基材传送装置包括一卷出构件、复数个转动滚筒以及一卷取构件，该基材传送装置具有一移动路径；一具金属的基材，沿着该移动路径传送；一温控装置，相对应配置于该基材传送装置的上方或下方，当该具金属的基材通过时，对该具金属的基材进行加热作业；一真空系统，与该外腔体连接，将一气体由该进气闸门抽入及由该排气闸门排出；一气源控制器，与该外腔体连接，控制一制程气体的供给，其中该制程气体具有一碳源或无机材料源；以及一电浆系统，提供裂解具有该碳源或无机材料源制程气体的能量。
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