发明名称 镀覆装置
摘要
申请公布号 TWI498451 申请公布日期 2015.09.01
申请号 TW100102767 申请日期 2004.03.10
申请人 荏原制作所股份有限公司 发明人 栗山文夫;竹村隆;斋藤信利;木村诚章;黄海冷
分类号 C23C18/00 主分类号 C23C18/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种镀覆装置,包含有:镀覆槽,其用以容纳镀覆溶液;以及搅拌机构,其具有潜浸于该镀覆槽内之该镀覆溶液中并配置于面向工件的欲镀覆表面的位置之搅拌叶片,该搅拌叶片可平行于该工件的欲镀覆表面进行往复移动而搅拌该镀覆溶液;其中,该搅拌叶片的至少一侧边具有不规则部;其中该不规则部包含连续三角形或长方形锯齿形不规则部,或以预定间距形成的多数个窄沟槽。
地址 日本