半导体制程

主权项

一种制作半导体的方法，其包括：形成一导电基底，其具有贯通该导电基底之一背面与该导电基底之一主动表面的至少一贯孔；于该导电基底之该主动表面上形成至少一连接垫；于该导电基底上形成一绝缘图案，其中该绝缘图案形成于该至少一贯孔之侧壁上；于该绝缘图案上形成一金属图案；以及进行一第一电镀制程，以形成覆盖该金属图案之一保护层，其中该保护层包括一绝缘材料。