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<p>본 발명의 전자선장치는, 시료(S)를 탑재하는 스테이지(30)와, 소정의 조사영역(15)을 가지는 전자빔을 생성하고, 전자빔을 시료를 향하여 조사하는 1차 광학계(10)와, 전자빔의 시료에 대한 조사에 의하여 발생한, 시료의 구조정보를 얻은 전자를 검출하고, 소정의 시야영역(25)에 대하여 시료의 상을 취득하는 2차 광학계(20)와, 소정의 조사영역(15)의 위치를 소정의 시야영역(25)에 대하여 변경 가능한 조사영역 변경부(13, 14)를 구비한다. 1차 광학계에 프리차지의 기능도 가지게 함으로써 프리차지 유닛을 생략할 수 있다. 시료에 대한 프리차지의 영역과 양을 제어하여, 시료에 따른 최적의 프리차지를 행할 수 있다.</p> |
