连续式物理真空镀膜设备

摘要

一种连续式物理真空镀膜设备，包含一组具有复数独立之镀膜腔的真空镀膜装置、一组具有清洁缓冲腔及缓冲真空腔的缓冲真空装置、一组具有前置准备腔及完成腔的准备装置、一组传送装置，及一组包括复数闸门的闸门单元，用于连续产制薄膜太阳能电池。生产时，薄膜太阳能电池连续由该传送装置输送通过该前置准备腔、具有清洁单元的清洁缓冲腔、至少一组的该多源蒸镀单元的镀膜腔、缓冲真空腔，及完成腔，且该等闸门会被控制于其中一太阳能电池到达时开启、通过时则关闭，以维持各腔的气压，达到无须再耗费抽真空时间以增加产出。