Ｘ射线光罩结构及其制备方法

主权项

一种X射线光罩结构之制备方法，包含：提供一支撑基板，具有一顶面及一底面；形成一顶层于该顶面及一底层于该底面，该底层具有一开口；局部去除该开口曝露之该支撑基板以形成至少一薄部于该支撑基板中，其中该顶层及该至少一薄部形成一堆叠薄膜；以及形成复数个X射线吸收图案于该至少一薄部上方之该顶层上。