形状测定方法及形状测定装置

主权项

一种形状测定方法，其准备藉由来自测定面之测定力而可相对于探针位移地被支持之触针，且重复上述探针相对于上述测定面之相对移动，该相对移动包含：平行移动，其使上述触针相对于上述测定面向与上述测定面平行之方向移动指定之距离；及正交移动，其系以包含相对于上述探针的上述触针之位置之位移量与位移方向之触针位移矢量之于上述测定面之法线方向之大小成为预先决定之按压量之设定值之方式，使上述探针于自现在之触针位置与过去之触针位置之差算出之上述测定面之法线方向移动。