微电子机械系统传声器及其制造方法

主权项

一种微电子机械系统传声器，包括：矽基板，形成有背腔，透过在该背腔的上侧以已设定的深度进行蚀刻，而形成凹下的空隙形成部；膜，于低温下以非电解镀层法蒸镀在该矽基板的空隙形成部的内部或矽基板上；及支撑板，其以与该膜分开的方式而于低温下以非电解镀层法被蒸镀在该空隙形成部的内部或该矽基板上，而与该膜形成空隙的间距，其中，该膜和该支撑板之间之空隙的间距，系根据该空隙形成部的深度而调节。