涂层式钻石磨削复制母模及其相关方法;COATED DIAMOND-TURNED REPLICATION MASTER AND ASSOCIATED PROCESS

摘要

本发明提供一种涂层式钻石磨削复制母模，其用以制造晶圆级透镜阵列，该复制母模包括：可磨削之低硬度钻石薄片；一模面，形成于该可磨削之低硬度钻石薄片中；以及一抗氧化性涂层，涂布于该模面上，用以保护该模面。该模面包括复数个光学体，其中所有该复数个光学体系由一单一钻石切割工具切割。一种用以形成涂层式钻石磨削复制母模之方法，系包括：使用一单一钻石切割工具，于可磨削之低硬度钻石薄片中形成一模面，该模面包括复数个光学体，所有该光学体系由该单一钻石切割工具形成。该方法亦包括在形成复数个光学体之步骤后，于该模面上涂布一抗氧化性涂层。