基板固持器、镀覆装置及镀覆方法

摘要

提供一种可对复数种类基板馈电之基板固持器、及具备其之镀覆装置。本发明之基板固持器具有可对具备不同特征之基板馈电的第一馈电构件及第二馈电构件。第一馈电构件具有朝向基板保持面内侧延伸，且配置于基板保持面之第一位置上的第一馈电构件端部。第二馈电构件具有朝向基板保持面内侧延伸，且配置于基板保持面之第二位置上的第二馈电构件端部。第一位置对第二位置位于基板保持面之中心侧。