于载置台吸附被吸附物之方法及处理装置

摘要

提供一种于载置台吸附被吸附物之方法。载置台系在可减压之空间内用以处理被处理体的处理装置中，被设置于区划出该空间之处理容器内。又，处理装置系例如电浆处理装置。该方法系包含有：于载置台之静电夹具上载置被吸附物的工序；以及分别施加相位互相相异之三个交流电压至静电夹具的三个电极之工序。