具有动态定位结构之晶圆传送盒

主权项

一种具有动态定位结构之晶圆传送盒，包括有： 一中空盒体，该盒体之一端设一开口，供至少一晶圆框架经由该开口而进出该盒体之容置空间，该盒体之一底板之一侧上设有一第一定位销； 一盖体，用于盖合该盒体之该开口；及 一定位片，该定位片于其二侧分别设有一第二定位销及一第三定位销，该定位片系以可拆卸之方式设于该盒体之底板之另一侧上，且其二端嵌接于该盒体之二侧板下缘，当该晶圆传送盒置放于一机台时，使位于该底板之该第一、第二、第三定位销形成一动态定位销而将该晶圆传送盒动态定位于该机台上。