发明名称 制作空间上对准的奈米管及奈米管阵列之方法
摘要
申请公布号 TWI498276 申请公布日期 2015.09.01
申请号 TW096107244 申请日期 2007.03.02
申请人 美国伊利诺大学理事会 发明人 约翰A. 罗杰斯;坷斯肯 柯卡把斯;沈文燮;姜晟俊;朴章雄
分类号 B82B3/00;C23C16/26;B82B1/00;C01B31/02 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种用于制作纵向对准的碳奈米管之一阵列的方法,该方法包括下列步骤:提供具有一接收表面的一导向生长基板,其中该导向生长基板系具有在约0度至约42.75度之范围内选择的一切割角度的一单结晶Y切割石英基板或一旋转Y切割石英基板,其中该导向生长基板具有在该接收表面之一平面中的一主要导向生长轴;采用碳奈米管生长催化剂来图案化该接收表面以产生由实质上没有出现催化剂的该接收表面之区域所间隔而彼此分离的催化剂带,其中将该等催化剂带定向以与主要导向生长轴相交,且该等催化剂带具有选自约1000粒子μm-2至约10粒子μm-2之范围的一表面催化剂浓度,且其中实质上没有出现催化剂的该接收表面之该等区域具有小于或等于约1粒子μm-2的一表面催化剂浓度;以及经由导向生长在该导向生长基板之该接收表面上生长纵向对准的奈米管,其中该等奈米管在沿平行于该导向生长基板之该主要导向生长轴的奈米管生长轴的该等催化剂带之间而生长,从而制作纵向对准的碳奈米管之该阵列。
地址 美国