主权项 |
一种扫描头,组装于用于一离子布植机的一扫描臂,并且包括:一外壳,具有一恒定中心线;一轴组件,穿过该外壳的一第一侧,并且具有一扭转轴、相对于该外壳呈固定的一第一枢转点、位于该外壳之外的一第一端以及位于该外壳之内的一第二端;一静电夹具,固接于该第一端上,并且适于固持一工件;一第一驱动机构,适于驱动该轴组件、该静电夹具和该工件相对于该恒定中心线倾斜,其中,该第一驱动机构包括:一中继连杆组,具有一第三端以及一第四端,其中该第三端连结于该轴组件远离于该第一枢转点的一位置,并且该第四端相对于该第三端;及至少一马达,连结于该第四端,并且适于驱动该中继连杆组沿着平行于该扫描臂的一倾斜轴的一方向移动;以及一第二驱动机构,适于驱动该轴组件、该静电夹具和该工件绕着该扭转轴旋转。
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