主权项 |
一种压电致动器,其特征在于包括:压电元件,其具有积层有内部电极及压电体层之具有长度方向与宽度方向之积层体、及于与该积层体之积层方向正交之一主面与上述内部电极电性连接之表面电极;及柔性基板,其具有一部分经由导电性接合构件而接合于上述一主面,且与上述表面电极电性连接之配线导体;且上述内部电极包括第1极与第2极;上述压电元件系设置于上述内部电极之上述第1极及上述第2极于积层方向重叠之厚度相对厚之上述宽度方向之中央区域与该中央区域以外之厚度相对薄之上述宽度方向之端部区域;上述一主面之至少接合有上述柔性基板之区域系藉由上述中央区域成为凸状而平坦度变差。
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