扩展装置及零件之制造方法

主权项

一种扩展装置，其包括：加热台，其于上表面载置胶带之包含贴附有晶圆之部分的中央之第1部分；非加热环，其以包围上述加热台之外周缘之方式配置；隔热材料，其积层于上述非加热环之上表面，并且直接或间接地载置上述第1部分之外侧之第2部分；保持装置，其保持上述胶带之较上述第2部分更靠外侧之第3部分；及驱动装置，其对上述保持装置相对地在上下方向驱动上述加热台及非加热环而扩展上述胶带。