发明名称 电浆光源及电浆光产生方法
摘要
申请公布号 TWI499358 申请公布日期 2015.09.01
申请号 TW098143073 申请日期 2009.12.16
申请人 IHI股份有限公司;国立大学法人东京工业大学 发明人 桑原一;堀冈一彦
分类号 H05G2/00;H01L21/027 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种电浆光源,其特征为具备:相对向配置之一对同轴状电极;放电环境保持装置,将电浆媒体供给至该同轴状电极内,且保持适合电浆产生之温度及压力;及电压施加装置,对各同轴状电极施加使极性反转之放电电压;其中,前述各同轴状电极系具有中心电极、及隔着间隔围绕该中心电极的导引电极,并构成为,以前述电压施加装置对各同轴状电极施加使极性反转之放电电压,而使一对同轴状电极分别产生面状放电,该各面状放电系朝前述同轴状电极之前端侧移动,藉由该各面状放电,在各同轴状电极之相对向的中间位置形成单一之电浆,该面状放电系接续地转换为一对同轴状电极间之管状放电,而在一对同轴状电极间形成该管状放电,并将电浆朝轴方向与半径方向封入,前述管状放电系包含:于前述一对同轴状电极中之一方的同轴状电极的前述中心电极与前述一对同轴状电极中之另一方的同轴状电极的前述中心电极之间发生的管状放电;以及于前述一方的同轴状电极的前述导引电极与前述另一方的同轴状电极的前述导引电极之间发生的管状放电。
地址 日本
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