| 发明名称 |
丛集型批量式基板处理系统;CLUSTER-BATCH TYPE SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
本发明揭示一种丛集型批量式基板处理系统。本发明之该丛集型批量式基板处理系统包含一基板经搭载进入其中的一基板载入段；一基板运送机器人，相对于一转动轴转动并执行基板之装载/卸载作业；以及环绕着该基板运送机器人径向地配置的复数之批量式基板处理设备。; a substrate conveyance robot 7 to rotate about a rotation axis and perform loading/unloading of the substrate 40; and a plurality of batch type substrate processing apparatuses 9 (9a, 9b) disposed radially around the substrate conveyance robot 7. |
| 申请公布号 |
TW201533263 |
申请公布日期 |
2015.09.01 |
| 申请号 |
TW103140623 |
申请日期 |
2014.11.24 |
| 申请人 |
特艾希米控公司 TERASEMICON CORPORATION |
发明人 |
朴商权 PARK, SANG KWON |
| 分类号 |
C23C16/455(2006.01);C23C16/458(2006.01);C23C16/46(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/677(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群陈文郎 |
| 主权项 |
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| 地址 |
南韩 KR |
