发明名称 封装结构及其形成方法;PACKAGE AND METHODS OF FORMING THEREOF
摘要 本发明之一实施例系一种封装结构,其包含侧向包覆一晶片的一模制化合物,且晶片具有一接触垫。一第一介电层系形成覆盖模制化合物及晶片,且具有一第一开口暴露接触垫。一第一金属化层系形成覆盖第一介电层,其中第一金属化层填充第一开口。一第二介电层系形成覆盖第一金属化层及第一介电层,且具有一第二开口位于第一开口之上。一第二金属化层系形成覆盖第二介电层且形成于第二开口内。
申请公布号 TW201533811 申请公布日期 2015.09.01
申请号 TW103145535 申请日期 2014.12.25
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 施婉婷 SHIH, WANTING;刘乃玮 LIU, NAIWEI;林俊成 LIN, JINGCHENG;黄震麟 HUANG, CHENGLIN
分类号 H01L21/56(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L23/488(2006.01) 主分类号 H01L21/56(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财李世章
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 TW