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发明名称
封装结构及其形成方法;PACKAGE AND METHODS OF FORMING THEREOF
摘要
本发明之一实施例系一种封装结构,其包含侧向包覆一晶片的一模制化合物,且晶片具有一接触垫。一第一介电层系形成覆盖模制化合物及晶片,且具有一第一开口暴露接触垫。一第一金属化层系形成覆盖第一介电层,其中第一金属化层填充第一开口。一第二介电层系形成覆盖第一金属化层及第一介电层,且具有一第二开口位于第一开口之上。一第二金属化层系形成覆盖第二介电层且形成于第二开口内。
申请公布号
TW201533811
申请公布日期
2015.09.01
申请号
TW103145535
申请日期
2014.12.25
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人
施婉婷 SHIH, WANTING;刘乃玮 LIU, NAIWEI;林俊成 LIN, JINGCHENG;黄震麟 HUANG, CHENGLIN
分类号
H01L21/56(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L23/488(2006.01)
主分类号
H01L21/56(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财李世章
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 TW
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