用于零间隙压印之压印微影模板及方法;IMPRINT LITHOGRAPHY TEMPLATE AND METHOD FOR ZERO-GAP IMPRINTING

摘要

具有前和后缘边界的压印微影模板系被提供，其会以全细构高度的细构提供于位在相邻场域之间的图案排除区(PEZ)中，而在相邻场域之间达成零间隙压印，该等前缘边界包含虚设细构，例如伸长的细构等方向定向平行于该凸台边缘，而该后缘边界包含一凹槽延伸至该等凸台边缘。当使用于一逐步且重复制法时，该后缘边界会重叠一相邻压印场域的边缘部份，其系先前被该模板的前缘边界图案化者，而在此等场域之间的图案排除区中造成全细构高度的细构等，并避免此等场域之间的间隙或开放区域，否则其会导致下游制程譬如蚀刻制程及CMP的不均一性。