基板搬送装置

摘要

提供一种具有吸收基板之翘曲并真空吸附基板，且可交换之垫件的基板搬送装置。;提供一种基板搬送装置，其具备：含有凸缘部并保持基板的复数个垫件；以及具有复数个凹部并可装卸地固定被分别插入至该复数个凹部之该复数个垫件的手件；该凸缘部之至少任一者系具有：以该凸缘部之外缘部来可交换地被固定至该手件，并可在该凹部内弯曲的弹性部；以及于该弹性部之内缘部升高，并藉由真空吸附来保持基板的基板保持部。