超纯水制造装置,申请号TW103134566-传众专利搜索

发明名称	超纯水制造装置
摘要	本发明提供一种可安定地制造微粒子经高度除去之高水质超纯水之超纯水制造装置。本发明超纯水制造装置，其特征为：具有自一次纯水制造超纯水之次系统，该次系统之最终段设有膜装置，其中该膜装置系作串联式多段设置，第1段之膜装置为UF膜装置、MF膜装置或RO膜装置，最终段之膜装置为UF膜装置或离子交换基未修饰之MF膜装置。
申请公布号	TW201532660	申请公布日期	2015.09.01
申请号	TW103134566	申请日期	2014.10.03
申请人	栗田工业股份有限公司 KURITA WATER INDUSTRIES LTD.	发明人	福井长雄 FUKUI, TAKEO;森田博志 MORITA, HIROSHI;田中洋一 TANAKA, YOICHI;饭野秀章 IINO, HIDEAKI;山田聡 YAMADA, SATOSHI
分类号	B01D61/58(2006.01);B01D61/18(2006.01);B01D61/08(2006.01);B01D69/02(2006.01);C02F1/44(2006.01);C02F1/42(2006.01);G01B15/00(2006.01)	主分类号	B01D61/58(2006.01)
代理机构		代理人	林志刚
主权项
地址	日本 JP