发明名称 能抑制翘曲的半导体装置;SEMICONDUCTOR DEVICE CAPABLE OF SUPPRESSING WARPING
摘要 本发明提供一种半导体装置,包含有一基材,具有一正面及一背面;复数层介电层,设于该正面;一上钝化层,设于该复数层介电层上;复数个内连线电路结构,位于该复数层介电层中;以及至少一背钝化层,设于该背面。其中该背钝化层以及该上钝化层由相同的材料所构成,且具有相同厚度。
申请公布号 TW201533867 申请公布日期 2015.09.01
申请号 TW103112730 申请日期 2014.04.07
申请人 华亚科技股份有限公司 INOTERA MEMORIES, INC. 发明人 姜序 CHIANG, HSU;胡耀文 HU, YAW-WEN
分类号 H01L23/48(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 H01L23/48(2006.01)
代理机构 代理人 吴丰任戴俊彦
主权项
地址 桃园市龟山区复兴三路667号 TW