发明名称 |
能抑制翘曲的半导体装置;SEMICONDUCTOR DEVICE CAPABLE OF SUPPRESSING WARPING |
摘要 |
本发明提供一种半导体装置,包含有一基材,具有一正面及一背面;复数层介电层,设于该正面;一上钝化层,设于该复数层介电层上;复数个内连线电路结构,位于该复数层介电层中;以及至少一背钝化层,设于该背面。其中该背钝化层以及该上钝化层由相同的材料所构成,且具有相同厚度。 |
申请公布号 |
TW201533867 |
申请公布日期 |
2015.09.01 |
申请号 |
TW103112730 |
申请日期 |
2014.04.07 |
申请人 |
华亚科技股份有限公司 INOTERA MEMORIES, INC. |
发明人 |
姜序 CHIANG, HSU;胡耀文 HU, YAW-WEN |
分类号 |
H01L23/48(2006.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/48(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
吴丰任戴俊彦 |
主权项 |
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地址 |
桃园市龟山区复兴三路667号 TW |