主动式压力稳定系统及方法;PROACTIVE PRESSURE STABILIZING SYSTEM AND METHOD

摘要

一主动式气体压力稳定系统及方法。系统包括一压力稳定装置，一增压抽引装置，一气体分流装置，以及一控制驱动器。其中，压力稳定装置被一律动膜分隔为一接收室及一控压室，控制驱动器能够感应律动膜之运动并据以控制气体分流装置。控压室可经由一导压孔来设定一固定压力。无论气体源的流量或压力如何变动，或是下游系统压力如何变动，接收室之压力都会稳定在控压室之压力。经本系统稳压后的气体最后可以回收或循环使用，不会对环境造成影响。