处理液供给装置、处理液供给方法及记忆媒体

摘要

提供可在难以产生气泡之状态下移送处理液之处理液供给装置。处理液供给装置(511)系经吐出部(7)而对被处理体(W)供给处理液(L)，中间槽(61)系经移送配管(51a)而被连接于供给处理液(L)之处理液供给源(60)，送出配管(51b)被设置在中间槽(61)和吐出部(7)之间。减压排气部(84)为了使处理液(L)经移送配管(51a)而从处理液供给源(60)移送至中间槽(61)，使中间槽(61)内减压排气，压力调整部(63)为了从送出配管(51a)送出中间槽内之处理液(L)，对中间槽(61)供给气体，而使中间槽内(61)之压力从减压状态回复至常压状态。