晶圆搬送装置及晶圆供给排出装置

摘要

本发明之课题在于减低因晶圆环之调换作业而产生的元件供给中断时间，且提高元件的生产性。;夹介存在于仓匣(3)与环保持器(4)之间的装载器(2)，系具备用以保持晶圆环(Wn)的二组的晶圆夹具(21a、21b)。二组的晶圆夹具(21a、21b)，系藉由旋转驱动部(22)而在仓匣(3)与环保持器(4)之间移动，且藉由进退驱动部(23b)而独立地朝向仓匣(3)和环保持器(4)进退。该二组的晶圆夹具(21a、21b)，系藉由移动驱动部(24)来移动位置以便与环保持器(4)互相地对向。其中一方的晶圆夹具(21a)，系空着而用于从环保持器(4)取出排出环(Wo)，另一方的晶圆夹具(21b)，系用以保持在排出环(Wo)被取出之后收容于环保持器(4)中的晶圆环(Wn)。双方的晶圆夹具(21a、21b)之任务系互相地调换。