| 主权项 |
一种压电泵，包括：一压电模组，具有至少一入气口以及非密闭且体积可变的一第一腔室；一第一膜片，设置于该压电模组上，且具有覆盖该至少一入气口的至少一第一单向阀部及连通于该第一腔室的一第一通孔；一支撑体，设置于该第一膜片上，且具有连通于该第一通孔的一第二通孔，其中该至少一入气口透过该至少一第一单向阀部可选择地密闭或连通于该第二通孔；一第二膜片，设置于该支撑体上，且具有覆盖该第二通孔的一第二单向阀部；以及一盖体，设置于该第二膜片上，且具有一出气口，其中该第二通孔透过该至少一第二单向阀部可选择地密闭或连通于该出气口，其中：当该第一腔室的体积增加时，一流体自该至少一入气口流入，经该第一单向阀部以流入该第二通孔与该第一腔室，该第二通孔密闭于该出气口，当该第一腔室的体积缩减时，该入气口密闭于该第二通孔，位于该第一腔室与该第二通孔的该流体经该第二单向阀部而流出于该出气口。 |
