光学检测装置

主权项

一种光学检测装置，其系利用真空吸附检测基片使其固定，及执行视觉检测，包含有：一检测台，系由光穿透性材质而成，供装载由易变形材质所制成之检测基片，另形成有沿着上面边缘方向往下凹入之容置凹槽，其中该容置凹槽包含一沿着该检测台之边缘而形成之边缘部以及一以穿越检测台中心部且连通该边缘部的方式而形成之横切部，并藉由贯通该容置凹槽与下面形成流路；一固定架，系供支撑该检测台之侧面或上面；一吸板，系由多孔质陶瓷材质而成，供插设于该检测台之容置凹槽；一真空模组，系于该流路施加真空压，藉使该吸板上之检测基片作吸附；一背光元件，系由该检测台之下方将光照射于检测台上之检测基片；一成像装置，系装设于该检测台之上方，供撷取装载于该测台之检测基片之影像。