电浆处理装置

摘要

提供一种使处理良率提升之电浆处理装置。;一种电浆处理装置，具有：处理室，配置于真空容器内部，其内侧空间受到减压；及试料台，配置于处理室内，其上面供处理对象之试料载置；利用该试料台的上方之，供给至前述处理室内之处理用气体来形成电浆，以处理前述试料，该电浆处理装置中，前述试料台具备：金属制的块(block)，内部具有冷媒流通之通路，于前述试料之处理中被供给高频电力；及静电吸盘，配置于该块上，前述试料承载其上而被静电吸附；前述静电吸盘具备：膜状的电极，被供给吸附前述试料之电力；及板状的上部烧结体及下部烧结体，将该电极从上下加以包夹而被接合；下部烧结体的介电率比上部烧结体的介电率还高。