（甲基）丙烯酸酯化合物、（甲基）丙烯酸共聚物及包含此之感光性树脂组成物,申请号TW104103220-传众专利搜索

发明名称	（甲基）丙烯酸酯化合物、（甲基）丙烯酸共聚物及包含此之感光性树脂组成物
摘要	本发明系提供一种不损及作为化学增幅型抗蚀剂之解像度、线缘粗糙度(LER)等基本物性而为高感度且均衡性良好之抗蚀剂及抗蚀剂用化合物。;本发明系以通式(I)表示之(甲基)丙烯酸酯化合物、及其制造方法、使以通式(1)之(甲基)丙烯酸酯化合物聚合而得之(甲基)丙烯酸共聚物与其感光性树脂组成物。;(式中，R1表示氢原子、或甲基，R2表示碳数2~4之直链、或分支状之烷基，R3可相同或不同且表示以下述式(2)或(3)等表示之基)，;(式(2)及(3)系如本说明书中所记载)，
申请公布号	TW201533035	申请公布日期	2015.09.01
申请号	TW104103220	申请日期	2015.01.30
申请人	三菱瓦斯化学股份有限公司 MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.	发明人	田中博康 TANAKA, HIROYASU;早川祥一 HAYAKAWA, SHOICHI;棚木宏幸 TANAGI, HIROYUKI;古川喜久夫 FURUKAWA, KIKUO;堀越裕 HORIKOSHI, HIROSHI
分类号	C07D325/00(2006.01);C07C69/75(2006.01);C08F220/32(2006.01);C08F220/28(2006.01);C08L33/14(2006.01);G03F7/039(2006.01);H01L21/027(2006.01)	主分类号	C07D325/00(2006.01)
代理机构		代理人	林志刚
主权项
地址	日本 JP