发明名称 |
玻璃基板之制造方法及玻璃基板制造装置 |
摘要 |
本发明系藉由减少存在于玻璃处理装置之气相空间中之铂族金属之挥发物之凝聚,而抑制异物混入至熔融玻璃。;本发明之玻璃处理装置系内壁之至少一部分包含含有铂族金属之材料且使熔融玻璃流动而对上述熔融玻璃进行处理之装置,且构成为由上述熔融玻璃之表面与上述内壁在内部形成气相空间。上述气相空间系沿着上述熔融玻璃之流动方向而形成。于对上述熔融玻璃进行处理时,在上述气相空间之上述壁,使用上述玻璃处理装置之加热及散热之至少一者而形成自上述壁中之最高温度沿着上述熔融玻璃之流动方向中之上游方向或下游方向具有温度梯度的温度梯度区域。为了可抑制存在于上述气相空间之挥发之铂族金属之挥发物之凝聚,而将上述温度梯度区域中之上述最高温度与最低温度之温度差设为150℃以下。 |
申请公布号 |
TW201532991 |
申请公布日期 |
2015.09.01 |
申请号 |
TW103145889 |
申请日期 |
2014.12.26 |
申请人 |
安瀚视特控股股份有限公司 AVANSTRATE INC. |
发明人 |
铃木谅 SUZUKI, RYO;藤本慎吾 FUJIMOTO, SHINGO |
分类号 |
C03B5/16(2006.01);C03B5/225(2006.01);C03B17/06(2006.01);H01L23/15(2006.01) |
主分类号 |
C03B5/16(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 |
主权项 |
|
地址 |
日本 JP |