| 主权项 |
一种敏辐射线性树脂组成物，其特征系含有：[A]具有下述式(a1)所表示构造单元(I)、下述式(a2)所表示构造单元(II)及含内酯构造的构造单元(III)之聚合物、以及[B]敏辐射线性酸产生剂，上述构造单元(I)之含有比例，相对构成[A]聚合物的全构造单元，在50莫耳%以上，
(式(a1)中，R1为氢原子或甲基，R2、R3及R4各自独立，为碳数1~10之烷基或碳数4~20之1价脂环式烃基，但，R3及R4可相互键结与彼等所键结的碳原子一起形成碳数4~20之2价脂环式烃基)(式(a2)中，R5为氢原子或甲基，R6为单键或碳数1~10之2价烃基，A为3价有机基)。 |
