| 主权项 |
一种III族氮化物结晶基板，其系于利用一方面满足III族氮化物结晶基板(1)之任意之特定平行晶格面(1d)的X射线绕射条件、一方面改变自上述结晶基板之主表面(1s)起的X射线穿透深度之X射线绕射测定而获得的上述特定平行晶格面(1d)之面间隔中，当将上述X射线穿透深度为0.3μm之上述面间隔表示为d1，将上述X射线穿透深度为5μm之上述面间隔表示为d2时，|d1-d2|/d2之值所表示之上述结晶基板之表面层(1p)的均匀畸变为1.7×10-3以下，且上述主表面(1s)之面方位具有自包含上述结晶基板之c轴(1c)之面(1v)向[0001]方向倾斜-10°以上10°以下的倾斜角。 |
