辐射产生设备;RADIATION GENERATING APPARATUS

摘要

一种辐射产生设备，包括一靶材基座、一靶材、一支撑组件、一电子束产生装置及一第一驱动单元。靶材配置于靶材基座上。支撑组件支撑靶材基座且具有一轴向及一径向。电子束产生装置适于产生一电子束，其中电子束沿轴向射至靶材以产生一辐射。第一驱动单元适于驱动靶材基座沿径向移动。