| 摘要 |
一种用于乾式蚀刻装置之基板托盘组，是用以承载多个基板并包含：一托盘本体及多个固定单元。托盘本体具有一包括多个设置区与固定区的设置面。各设置区对应承载各基板且呈正三角形阵列彼此紧邻地排列于设置面。各设置区由三固定区所围绕，各设置区所对应围绕的固定区呈正三角形阵列排列于设置面且每三设置区共用一固定区。各固定单元具垫片及贯穿各垫片的扣件。各垫片对应设在各固定区，各扣件具固定于托盘本体的杆部，及自其杆部且远离托盘本体的端缘径向朝外凸伸的头部。各扣件的头部分别抵制各垫片并使各垫片抵压住各基板于各设置区。 |
