形状一致物件之３维阵列上的均匀化学气相沉积涂层;UNIFORM CHEMICAL VAPOR DEPOSITION COATING ON A 3-DIMENSIONAL ARRAY OF UNIFORMLY SHAPED ARTICLES

摘要

本发明为涂布形状和尺寸一致的物件之方法。该方法包括提供具有阵列化内表面的反应器、将该等物件定位于该反应器内、以及涂布该等物件。