整体平台定位系统和方法

主权项

一种用于定位一工件的系统，其中包含：一整体平台，此者系经组态设定以支撑该工件，该整体平台包含复数个线性施力器；一铁磁基底平板，此者系经设置于该整体平台的下方处；一空气承载，此者系位于该平台与该铁磁基底平板之间，该空气承载系对于该整体平台提供一漂浮力；一磁性轨道，此者系经直接地耦接于该铁磁基底平板，并且该磁性轨道建立一磁场，该等线性施力器各者可运作以将一电流载荷通过由该磁性轨道所建立的磁场，该等电流可产生力以在三个自由度上对该整体平台提供平面移动；以及至少一线圈绕线，此等系经接附于该整体平台，并且该等至少一线圈绕线利用与该铁磁基底平板的磁性吸引力以在至少一第四自由度上提供移动。