| 发明名称 |
照明光学装置、曝光装置以及元件制造方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI498663 |
申请公布日期 |
2015.09.01 |
| 申请号 |
TW096111592 |
申请日期 |
2007.04.02 |
| 申请人 |
尼康股份有限公司 |
发明人 |
田中裕久;小松田秀基 |
| 分类号 |
G03B27/52;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G03B27/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种照明光学装置，将来自光源的光分布至照明光瞳，并透过导光光学系统以来自上述照明光瞳的光照明被照射面，该照明光学装置的特征在于包括：光束分割部件，包括将来自上述照明光瞳的光的一部分向第1方向偏转的第1偏转部件以及将来自上述照明光瞳的光的一部分向第2方向偏转的第2偏转部件；上述导光光学系统将已向上述第1方向偏转的第1光束引导至上述被照射面的第1照明区域，并且将已向上述第2方向偏转的第2光束引导至上述被照射面中与第1照明区域不同的第2照明区域。
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| 地址 |
日本 |
