| 摘要 |
<p>본 발명은 베이스부와, 전기전도성 재료를 포함하는 선회부와, 상기 선회부의 제1 섹션과 제2 섹션을 서로 전기적으로 절연하는 선회부 절연체를 포함하는 미세기계 부품에 관한 것이다. 제1 가요성 및 전기전도성 연결 부재가 베이스부를 제1 선회부 섹션에 연결하고, 제2 가요성 및 전기전도성 연결 부재가 베이스부를 제2 선회부 섹션에 연결한다. 본 발명은 또한 미세기계 부품을 제조하는 방법에 관한 것으로, 다음의 단계들, 즉 전도성 커버층을 갖는 기판 웨이퍼를 제공하는 단계와, 상기 커버층 내에 커버층의 제1 섹션과 제2 섹션을 서로 절연하는 절연 트렌치를 에칭하는 단계와, 베이스부를 제1 선회부 섹션과 연결하는 제1 가요성 및 전기전도성 연결 부재 및 베이스부를 제2 선회부 섹션과 연결하는 제2 가요성 및 전기전도성 연결 부재는 그대로 남겨둔 채, 기판 웨이퍼로부터 상기 커버층의 제1 섹션 및 제2 섹션을 포함하는 선회부 및 베이스부를 형성하는 단계를 포함한다.</p> |
