| 摘要 |
<p>[목적] 이형층들로서의 퇴적막들을 갖는 몰드들의 제조에 있어서의 스루풋의 향상을 가능하게 하기 위한 것이다. [구성] 이형층 (14) 으로서의 퇴적막을 표면에 갖는 몰드 (1) 의 제조에 있어서, 퇴적성 가스 (5a)/(5b) 를 포함하는 에칭 가스를 이용하여, 석영 기판 (10) 및 마스크층 (M) 에 의해 구성되는 구조체에 원하는 형상을 갖는 요철 패턴을 형성함과 동시에, 퇴적성 가스 (5a)/(5b) 의 퇴적물에 의해 구성되는 퇴적막이 요철 패턴을 따라 형성되도록 석영 기판 (10) 을 플라즈마 에칭한다.</p> |
