| 摘要 |
가공대상물을 정밀도 좋게 절단할 수 있는 가공대상물 절단방법을 제공한다. 가공대상물(1)에 집광점(集光点)을 맞추어 레이저광을 조사함으로써, 가공대상물(1)의 외연(外緣)(E)으로부터 소정의 거리 내측으로 외연에 따라 설정된 개질(改質)영역 형성라인(15)을 따라서 가공대상물(1)에 개질영역을 형성하고, 절단예정라인(5)을 따라서 가공대상물(1)에 절단용 개질영역을 형성하며, 절단용 개질영역을 기점으로 하여 절단예정라인(5)을 따라서 가공대상물(1)을 절단한다. 이와 같이, 가공대상물(1)의 외연(E)으로부터 소정의 거리 내측에 설정된 개질영역 형성라인(15)을 따라서 가공대상물(1)에 개질영역을 형성함으로써, 가공대상물(1)을 절단할 때, 가공대상물(1)에 절단응력이 가해져도 형성된 개질영역 또는 개질영역으로부터 연장하는 균열에 의해서, 가공대상물(1)의 외연부(25)에서 생긴 균열이 내측으로 신장하는 것을 억제할 수 있다. |
